分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識原理，利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng)，具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點。廣泛應用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、泵體加熱控制、電器控制系統(tǒng)、水冷卻保護控制等。
 

　　拆開包裝箱，將設(shè)備從箱體中取出，檢查設(shè)備有無損壞，將設(shè)備的電源線接好，將地線與設(shè)備機殼連接。如果是三相供電方式，初次通電時需要觀察機械泵的相序，打開總電源開關(guān)，觀察分子泵機組電源的相序指示燈，如果相序指示燈亮表明機械泵相序正常；如果相序指示燈不亮表明機械泵相序不正常。關(guān)掉總電源，將三相電源線中的任意兩相對調(diào)，以確保機械泵相序正確。
 

　　安裝時應注意以下幾點：
 

　　1、設(shè)備安裝應平地上豎直方向上與垂直方向夾角小于5度。安裝后要固定腳輪。
 

　　2、真空系統(tǒng)各連接部位應密封可靠，保證無泄漏發(fā)生。
 

　　3、水路系統(tǒng)接頭處應無滴漏。
 

　　4、建議把從機械泵排出的氣體引出室外。
 

　　分子泵機組使用注意事項：
 

　　1、應經(jīng)常檢查各導線及接地線是否短路，其絕緣層是否破損漏電。
 

　　2、真空腔體內(nèi)應保持清潔，經(jīng)常清除雜物。
 

　　3、裝入爐底料盤中的工件應符合要求，不能過高過大，以免爐絲受熱變形與工件接觸造成短路現(xiàn)象。
 

　　4、設(shè)備運行時要注意保養(yǎng)，定期對冷卻水系統(tǒng)進行維護，以防止水垢的大量凝結(jié)，影響冷卻效果。
 

　　5、工作場地應保持衛(wèi)生整潔，以免塵土污染真空室。